대상 박막의 성질에 따라 다양한 산 또는 그 혼합.

박막의 특정 부분을 에칭하는 데 사용되는 에칭액은 대략 옥살산 이수화물입니다.

주로 비정질 ITO 층을 에칭하는 데 사용됩니다.

왕수왕

염산과 질산의 혼합물, 결정성 ITO 층을 에칭하는 데 사용됩니다.

알 에천트

다중 산의 혼합물로, Al 층을 에칭하는 데 사용됩니다.