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화학식:

H3PO4

분자량:

97.99

사양:

농도 85%, 금속 100ppb 미만

특성:

무색, 무취의 투명한 액체, 중강산

사용:

주로 반도체 웨이퍼 에칭, 질화규소층 구조 제거 및 세척에 사용됩니다.

포장 및 보관:

20L, 200L, IBC 톤 배럴 및 탱크 트럭 포장